NiCr 80:20 тегловни процента разпръскващи мишени

Въведение

В индустрията за покрития никел-хром разпръскващите мишени и бинарни сплави мишени и филми се използват широко в повърхностно укрепващи филми като устойчивост на износване, намаляване на износването, топлоустойчивост и устойчивост на корозия, както и стъкло с ниска емисия (ниско Е), микроелектроника, магнитен В индустрии с високотехнологични технологии като запис, полупроводници и устойчивост на тънък слой, процесът на топлинна обработка значително влияе върху фазовата структура и микроструктурата на сплавта.

Микроструктурата и микродоменният състав на Ni-Cr сплавите са чувствителни към процеса на топлинна обработка. В диапазона от 1000-1200 градуса по Целзий, атомното съдържание на Ni във BCC фазата се променя от 5 процента до 30 процента. Предлага се подходящ процес на топлинна обработка на хомогенизация за получаване на висококачествени мишени от Ni-Cr сплав с относително еднаква структура и състав. Когато атомното съдържание на Ni елемента е 20 процента -70 процента, хомогенизиращата термична обработка е подходяща между 1200-1300 градуса по Целзий и времето за хомогенизиране на отгряване варира в зависимост от избора на температурата на отгряване и варира в обхват на 2-24H. Въз основа на теорията за произволни каскадни сблъсъци и метода Монте Карло, резултатите от симулацията на взаимодействието между падащите йони и целевото твърдо вещество от сплав Ni-Cr при разпрашване с йонен лъч показват, че атомните повърхностни енергии на Ni и Cr са относително близки. , Съставът на разпръскващия продукт на мишената от Ni-Cr сплав не се отклонява значително от състава на мишената, което е от полза за избора на състава на мишената и контрола на състава на филма.

Времето за хомогенизиращо отгряване варира в зависимост от температурата на отгряване и варира в диапазона от 2-24h. Като цяло, при предпоставката за осигуряване на еднородност на структурата и състава, колкото по-висока е температурата на топлинна обработка, толкова по-кратко е необходимото време за топлинна обработка; от друга страна, за да се осигури еднородност на структурата и състава. За да се предотврати прекомерният растеж на зърното, температурата на стареене в крайния етап на действителната термична обработка не трябва да се избира твърде висока. Нихромният филм има високо съпротивление и нисък температурен коефициент на съпротивление. Той има характеристиките на висок коефициент на чувствителност и малка температурна зависимост, така че често се използва при подготовката на тънкослойни тензодатчици за съпротивление.

Популярни тагове: разпръскваща цел